企业实施RPA，也会涉及到“关键绩效指标”，用以帮助企业评估以及阐明RPA流程自动化策略的成功与否。
RPA的关键绩效指标有6个，主要分为两类：
第一类：业务指标
1、投资回报率(ROI)
衡量RPA部署的ROI，通常从3个方面下手：RPA开发成本、时间节省和资金节省。RPA机器人可以在几分钟甚至几秒钟内完成繁琐的手动任务，企业可很简便地计算出自动化节省的时间。通过在员工的时间上附加相应价值，就可以在完成任务的同时节省成本。
2、处理结果
RPA主要用于处理繁琐的人工任务，想要衡量结果，了解自动化的定义以及最终目标十分关键。企业可以监测RPA应用前后的同一指标。
第二类：运营指标
1、利用率
监测RPA机器人工作时长对于容量规划十分重要，通过RPA机器人利用率这一指标能够显示工作量是否合理。以每天的小时数来查看利用率，其中24小时是无人值守机器人的最大小时数。参考检查点
(1)平均每天工作时间(包括所有机器人)
(2)在一定时间内每天工作数小时
(3)预估过度利用或利用不足的特定机器人每天的工作时间
较低的利用率表示机器人还能承担更多的工作，如果利用率过高则表明自动化积压，这就需要增加机械手分来分摊工作负载。
2、成功率
失败的自动化并不能提供什么价值，这就是企业重视成功率的关键原因。一般情况下，成功率将会定在90%左右。但如果成功率大约为100%，这可能意味着没有正确跟踪某些不合理的因素。
3、持续时间
与成功率相似，对过程持续时间也存在认识偏差。如果一个进程运行过快而运行时间短也可能意味着自动化的失败。
可以通过生产率、吞吐量、流程异常、已处理的队列事务以及事务平均处理时间等其他指标进行关注、监测。将运营成果与业务成果联系起来。
4、故障
如果受到无法控制的因素影响，RPA机器人的运行就会出现问题。对于此类意外障碍，跟踪任何错误及其背后的原因非常重要。通过分析一段时间内的趋势，就能够看到模式并采取措施加以纠正。
